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塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正方法

更新時(shí)間:2015-04-16      點(diǎn)擊次數(shù):2155

塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校正方法
 
一、校正所需設(shè)備
1、100級(jí)潔凈房或潔凈臺(tái)
2、一臺(tái)用于作對(duì)比,尚在校正期內(nèi)的塵埃粒子計(jì)數(shù)器
3、各粒徑的標(biāo)準(zhǔn)粒子
4、產(chǎn)生脫離水(DI水)的純水系統(tǒng)或類似裝置
5、標(biāo)準(zhǔn)粒子氣體產(chǎn)生器
6、其它普通電器
二、校正的基本原理
標(biāo)準(zhǔn)粒子通過255粒子產(chǎn)生器由液狀霧化成氣體,并由其內(nèi)置泵通過0.2um的過濾器后的干燥氣體進(jìn)入取樣管路,這時(shí),將兩臺(tái)相同塵埃粒子計(jì)數(shù)器同時(shí)或先后對(duì)取樣管進(jìn)行抽樣測(cè)試,并比校0.3um粒徑的測(cè)試值。如果其平均值在20%以內(nèi),認(rèn)為合格。如果不同型號(hào)的粒子計(jì)數(shù)器,一要弄清楚其流速,取樣時(shí)間,取樣次數(shù)等參數(shù),并且,還要明白怎樣理解其測(cè)試結(jié)果。塵埃 
三.、校正的基本步驟:
現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見的Royco HH200作校正
1、先,要清楚Royco 323和HH200A有何差別,其測(cè)試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺(tái)開機(jī),工作半小時(shí),其間內(nèi)也打開Royco 323和Royco HH200,讓其預(yù)熱半小時(shí)。
3、準(zhǔn)備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過噴嘴。
5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
(1)取樣時(shí)間都設(shè)置為00:01:00
(2)取樣次數(shù)都設(shè)置03
(3)取樣模式都設(shè)置為Auto
(4)間隔時(shí)間都設(shè)置為00:00:05
(5)讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注:以上設(shè)置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測(cè)試結(jié)果會(huì)是Royco HH200的10倍。
6、打開255電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后,保持其工作狀態(tài)。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作,看其三次的平均結(jié)果,若在20%以內(nèi),視為合格。
8、拆下脫原子瓶,重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,重復(fù)該測(cè)試。
9、以上校正只是對(duì)比校正,尚用萬用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量,用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來輔助調(diào)校。

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